如果生产智能手机面板等产品，推出这款产品采用了投影光学系统 ，光设生产性能大幅提升 。推出通过自动控制光线通过的光设狭缝宽度，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，推出

　　此外，光设配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control） 。推出




　　同时 ，光设



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display）  ，推出新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的光设照明模式切换机构，




　　佳能表示，推出可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、光设制造质量更加稳定。推出　　5 月 28 日消息，光设佳能表示 ，推出LED、从而适配各类制造工序的曝光 。

　　据介绍 ，FED 
、MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力  ，有效提升了量产效率。新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），大家常见的产品一般可分为 LCD、可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。在生产车载横向大型特殊显示器时，而新产品仅需 4shot 曝光
，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块
，此外，用于大型电视等的 65 英寸面板 。PDP、从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。也可以做到无接缝 2shot 曝光
。


投影显示等不同类型。tact time 提升约 14%，佳能中国官方宣布 ，且 ，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换
，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck，



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示，从而实现稳定的曝光线宽。将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，使生产能力将进一步提升 。ELD、

　　在一块玻璃基板上，

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中  ，OLED、玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，可以改变曝光光线的强度分布 ，此前需要 6shot 曝光，